用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110128088.1

申请日：

2011-05-17

公开(公告)号：

CN102193338A

公开(公告)日：

2011-09-21

发明(设计)人：

刘克李艳秋汪海王建峰

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

北京理工大学专利中心 11120

代理人：

李爱英;杨志兵

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-21	公开	公开
2012-11-07	授权	授权
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101141112165 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011101280881 申请日:20110517

共 50 条

[1]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[2]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

[3]

一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置 [P].

刘克 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 ;

汪海 .

中国专利 :CN101609266A ,2009-12-23

[4]

投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机 [P].

马明英 ;

姜雪林 ;

夏建培 .

中国专利 :CN111352303A ,2020-06-30

[5]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[6]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

[7]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

[8]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN103048894A ,2013-04-17

[9]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 .

中国专利 :CN101344728B ,2009-01-14

[10]

一种光刻机投影物镜波像差的测量方法 [P].

刘世元 ;

许爽 ;

龚朋 ;

周新江 ;

吕稳 .

中国专利 :CN103616802A ,2014-03-05

← 1 2 3 4 5 →