光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820656372.3

申请日：

2018-05-03

公开(公告)号：

CN208076920U

公开(公告)日：

2018-11-09

发明(设计)人：

苏佳妮卢增雄齐月静杨光华王宇

申请人：

申请人地址：

100094 北京市海淀区邓庄南路9号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

郎志涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-09	授权	授权
2020-09-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20200826 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更后权利人:中国科学院微电子研究所变更事项:地址变更前权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号
2020-09-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20200826 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院光电研究院变更后权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区邓庄南路9号变更后权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号

共 50 条

[1]

光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法 [P].

苏佳妮 ;

卢增雄 ;

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN108508709B ,2024-04-02

[2]

光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法 [P].

苏佳妮 ;

卢增雄 ;

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN108508709A ,2018-09-07

[3]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

[4]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN103048894A ,2013-04-17

[5]

大视场投影物镜及光刻机 [P].

安福平 ;

储兆祥 .

中国专利 :CN115524927A ,2022-12-27

[6]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 .

中国专利 :CN101344728B ,2009-01-14

[7]

一种光刻机投影物镜像面在线测量方法 [P].

李术新 ;

毛方林 .

中国专利 :CN102200690B ,2011-09-28

[8]

光刻机投影物镜偶像差原位检测系统 [P].

袁琼雁 ;

王向朝 ;

邱自成 .

中国专利 :CN201166781Y ,2008-12-17

[9]

光刻机投影物镜彗差原位检测系统 [P].

袁琼雁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN201083963Y ,2008-07-09

[10]

一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及测量方法 [P].

李术新 ;

毛方林 .

中国专利 :CN102200691A ,2011-09-28

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