一种光刻机投影物镜像面在线测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010131941.0

申请日：

2010-03-25

公开(公告)号：

CN102200690B

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

李术新毛方林

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-28	公开	公开
2017-12-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
2013-04-10	授权	授权
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101137310945 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010101319410 申请日:20100325

共 50 条

[1]

一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及测量方法 [P].

李术新 ;

毛方林 .

中国专利 :CN102200691A ,2011-09-28

[2]

光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法 [P].

苏佳妮 ;

卢增雄 ;

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN108508709B ,2024-04-02

[3]

光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法 [P].

苏佳妮 ;

卢增雄 ;

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN108508709A ,2018-09-07

[4]

光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置 [P].

苏佳妮 ;

卢增雄 ;

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN208076920U ,2018-11-09

[5]

一种光刻机投影物镜波像差的测量方法 [P].

刘世元 ;

许爽 ;

龚朋 ;

周新江 ;

吕稳 .

中国专利 :CN103616802A ,2014-03-05

[6]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[7]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 .

中国专利 :CN101344728B ,2009-01-14

[8]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

[9]

投影物镜及光刻机 [P].

侯宝路 ;

沈玲 ;

于迪迪 ;

王进霞 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118859633A ,2024-10-29

[10]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

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