一种制备新型缓冲层氧化物靶材及其氧化物薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310144981.2

申请日：

2013-04-24

公开(公告)号：

CN103305793A

公开(公告)日：

2013-09-18

发明(设计)人：

黄信二

申请人：

申请人地址：

341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1434 H01L3118 H01L3104

代理机构：

江西省专利事务所 36100

代理人：

杨志宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101531539292 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2013101449812 申请日:20130424
2013-09-18	公开	公开
2020-06-09	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/08 登记生效日:20200520 变更事项:专利权人变更前权利人:研创应用材料（赣州）股份有限公司变更后权利人:赣州市创发光电科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋变更后权利人:341000 江西省赣州市赣州经济技术开发区香江大道168号香港工业园北区标准厂房6栋
2015-12-16	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725179456 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2013101449812 变更事项:申请人变更前:研创应用材料(赣州)有限公司变更后:研创应用材料(赣州)股份有限公司变更事项:地址变更前:341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋变更后:341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋
2016-07-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种导电氧化物靶材及导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN103205707B ,2013-07-17

[2]

一种氧化物靶材、氧化物薄膜及其制备方法与应用 [P].

陈明飞 ;

王金科 ;

刘永成 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

陈明高 ;

江长久 ;

王志杰 ;

莫国仁 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN116288180B ,2025-02-25

[3]

一种新型缓冲层氧化锌硫靶材及其制备方法 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN104404459A ,2015-03-11

[4]

一种氧化物薄膜衬底、氧化物薄膜及其制备方法 [P].

陈德杨 ;

尹小哲 ;

邓雄 ;

陈超 ;

孙菲 .

中国专利 :CN110408888A ,2019-11-05

[5]

一种氧化物薄膜的制备方法、氧化物薄膜及其应用 [P].

姚蕾 ;

刘国栋 ;

丁早晖 .

中国专利 :CN117364042A ,2024-01-09

[6]

一种氧化物靶材及其制备方法 [P].

徐苗 ;

徐华 ;

李民 ;

陶洪 ;

邹建华 ;

王磊 ;

彭俊彪 .

中国专利 :CN116199497B ,2024-10-29

[7]

氧化物缓冲层及其制备方法 [P].

范峰 ;

鲁玉明 ;

周文谦 ;

刘志勇 ;

蔡传兵 .

中国专利 :CN101562065A ,2009-10-21

[8]

铟锆氧化物靶材及其制法及铟锆氧化物薄膜 [P].

柯伯贤 ;

谢承谚 ;

简毓苍 ;

刘砚鸣 .

中国专利 :CN113201714A ,2021-08-03

[9]

一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法 [P].

陈明飞 ;

刘永成 ;

王金科 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

陈明高 ;

江长久 ;

王志杰 ;

莫国仁 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN115418618A ,2022-12-02

[10]

复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜 [P].

刘燕妮 ;

朱旭山 .

中国专利 :CN110697783A ,2020-01-17

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