一种新型缓冲层氧化锌硫靶材及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410626628.2
申请日
2014-11-10
公开(公告)号
CN104404459A
公开(公告)日
2015-03-11
发明(设计)人
黄信二
申请人
申请人地址
341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C23C1414 C23C1408 C04B35453 C04B35622
代理机构
江西省专利事务所 36100
代理人
杨志宇
法律状态
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共 50 条
[1]
一种制备新型缓冲层氧化物靶材及其氧化物薄膜的方法 [P]. 
黄信二 .
中国专利 :CN103305793A ,2013-09-18
[2]
氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P]. 
雷雨 ;
许积文 ;
周志宏 ;
肖世洪 ;
周昭宇 ;
杨永添 .
中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18
[3]
一种氧化锌基靶材及其制备方法与应用 [P]. 
黎琦 ;
方宏 ;
冯海权 ;
蒙心钰 .
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[4]
一种掺杂氧化锌致密靶材及其制备方法 [P]. 
蔡沐之 ;
乔昂 ;
闫卫卫 ;
陈冠明 .
中国专利 :CN119822810A ,2025-04-15
[5]
镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法 [P]. 
曹永革 ;
黄常刚 ;
王美丽 ;
邓种华 .
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[6]
一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P]. 
谭洪蕾 ;
邵学亮 ;
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[7]
一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P]. 
罗斯诗 ;
李开杰 ;
邵学亮 ;
顾德盛 ;
张兴宇 .
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[8]
一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P]. 
余芳 ;
朱刘 ;
童培云 ;
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[9]
一种氧化锌锡靶材及其制备方法 [P]. 
周志宏 ;
周昭宇 ;
杨永添 .
中国专利 :CN118561591B ,2024-10-18
[10]
一种氧化锌镁靶材及其制备方法 [P]. 
余芳 ;
童培云 ;
朱刘 .
中国专利 :CN119191834A ,2024-12-27