一种氧化锌铝靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410880984.0

申请日：

2024-07-02

公开(公告)号：

CN118955117A

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

谭洪蕾邵学亮李开杰王奇峰

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/63 C04B35/645 C23C14/08

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

黄迅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20240702
2024-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P].

罗斯诗 ;

李开杰 ;

邵学亮 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117776709A ,2024-03-29

[2]

利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品 [P].

林杰 ;

张群 ;

邢俊鹏 ;

侯则良 .

中国专利 :CN103641468B ,2014-03-19

[3]

一种氧化锌铝靶材的制备方法 [P].

李开杰 ;

邵学亮 ;

张来稳 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113213913A ,2021-08-06

[4]

一种氧化锌靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118930247A ,2024-11-12

[5]

一种氧化锌镁靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN119191834A ,2024-12-27

[6]

一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN111439997B ,2020-07-24

[7]

氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18

[8]

一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30

[9]

一种镓铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法和应用 [P].

姚远 ;

王屹波 ;

蒋一昌 ;

马超宁 ;

杜宝珩 ;

赵丽媛 .

中国专利 :CN116751048B ,2024-08-06

[10]

一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法 [P].

童义平 .

中国专利 :CN103435339B ,2013-12-11

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