一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310331388.9
申请日
2013-08-01
公开(公告)号
CN103435339B
公开(公告)日
2013-12-11
发明(设计)人
童义平
申请人
申请人地址
516007 广东省惠州市惠城区演达大道46号
IPC主分类号
C04B35453
IPC分类号
C04B35622
代理机构
广州三环专利代理有限公司 44202
代理人
温旭
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种镓铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法和应用 [P]. 
姚远 ;
王屹波 ;
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[2]
一种铝掺杂氧化锌靶材的制备方法及应用 [P]. 
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[3]
一种掺杂氧化锌致密靶材及其制备方法 [P]. 
蔡沐之 ;
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[4]
一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P]. 
谭洪蕾 ;
邵学亮 ;
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[5]
一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P]. 
罗斯诗 ;
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邵学亮 ;
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[6]
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[7]
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[8]
氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P]. 
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[9]
一种氧化锌铝靶材的制备方法 [P]. 
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张来稳 ;
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[10]
利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品 [P]. 
林杰 ;
张群 ;
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侯则良 .
中国专利 :CN103641468B ,2014-03-19