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一种镓铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法和应用

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310656739.7
申请日：
2023-06-05
公开(公告)号：
CN116751048B
公开(公告)日：
2024-08-06
发明(设计)人：
姚远 王屹波 蒋一昌 马超宁 杜宝珩 赵丽媛
申请人：
洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请人地址：
471000 河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇）
IPC主分类号：
C04B35/453
IPC分类号：
C04B35/622 C04B35/64 C23C14/08 C23C14/34 C23C14/35 C03C17/245 H01L31/0224
代理机构：
洛阳公信联创知识产权代理有限公司 41190
代理人：
李真真
法律状态：
授权
国省代码：
河南省 洛阳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-08-06 授权 授权
共 50 条
[1]
一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法 [P]. 
童义平 .
中国专利 :CN103435339B ,2013-12-11
[2]
一种铝掺杂氧化锌靶材的制备方法及应用 [P]. 
程林 .
中国专利 :CN118908717A ,2024-11-08
[3]
一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P]. 
谭洪蕾 ;
邵学亮 ;
李开杰 ;
王奇峰 .
中国专利 :CN118955117A ,2024-11-15
[4]
铝掺杂氧化锌导电膜制备方法和应用 [P]. 
周明杰 ;
王平 ;
陈吉星 ;
黄辉 .
中国专利 :CN102453869A ,2012-05-16
[5]
一种镓和锆共掺杂氧化锌靶材的制备方法 [P]. 
姚远 ;
张莉兰 ;
张启华 ;
黄誓成 ;
陆映东 ;
朱勇昌 .
中国专利 :CN119241226B ,2025-04-25
[6]
一种镓和锆共掺杂氧化锌靶材的制备方法 [P]. 
姚远 ;
张莉兰 ;
张启华 ;
黄誓成 ;
陆映东 ;
朱勇昌 .
中国专利 :CN119241226A ,2025-01-03
[7]
一种氧化锌铝靶材的制备方法 [P]. 
李开杰 ;
邵学亮 ;
张来稳 ;
朱刘 .
中国专利 :CN113213913A ,2021-08-06
[8]
一种铝掺杂氧化锌纳米粉体及其制备方法和应用 [P]. 
程林 .
中国专利 :CN118908718A ,2024-11-08
[9]
一种掺杂氧化锌致密靶材及其制备方法 [P]. 
蔡沐之 ;
乔昂 ;
闫卫卫 ;
陈冠明 .
中国专利 :CN119822810A ,2025-04-15
[10]
一种铝钇掺杂氧化锌陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
徐从康 .
中国专利 :CN106187151A ,2016-12-07
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