曝光方法及系统，曝光设备控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310582812.7

申请日：

2013-11-19

公开(公告)号：

CN104656383B

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

邢滨张强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614587500 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2013105828127 申请日:20131119
2016-08-31	授权	授权
2015-05-27	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光剂量控制系统及曝光系统 [P].

侯宝路 ;

王彩红 .

中国专利 :CN115128907A ,2022-09-30

[2]

一种曝光设备的曝光控制系统及方法 [P].

陈国军 ;

刘智慧 ;

吴景舟 ;

马迪 .

中国专利 :CN112596344B ,2021-04-02

[3]

曝光控制系统及方法 [P].

冯宇 .

中国专利 :CN102118564B ,2011-07-06

[4]

自动曝光控制系统及自动曝光控制方法 [P].

黄翌敏 ;

何承林 .

中国专利 :CN112690811B ,2021-04-23

[5]

曝光显影方法和系统、曝光控制系统 [P].

余学权 ;

徐先华 ;

刘志 ;

王志强 ;

张伟 ;

成学佩 .

中国专利 :CN104391431A ,2015-03-04

[6]

曝光设备及曝光系统 [P].

辛宪栋 ;

曹旭东 ;

秦培培 ;

林斗亮 ;

罗鹏 ;

寇建龙 ;

邢宏伟 ;

沙俊 .

中国专利 :CN106909031A ,2017-06-30

[7]

曝光机控制方法、曝光机控制系统及存储介质 [P].

胡炳煌 .

中国专利 :CN107422615B ,2017-12-01

[8]

曝光控制系统及其方法 [P].

林晋安 ;

李宗德 ;

林耿生 ;

王浩任 ;

陈信宇 .

中国专利 :CN106412447A ,2017-02-15

[9]

自动曝光控制系统 [P].

牛杰 ;

王振玮 ;

崔凯 ;

冯娟 .

中国专利 :CN104640337B ,2015-05-20

[10]

曝光设备及曝光方法 [P].

蔡佩璁 ;

罗忠文 ;

潘信华 .

中国专利 :CN110398880B ,2019-11-01

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