曝光显影方法和系统、曝光控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410766896.4

申请日：

2014-12-12

公开(公告)号：

CN104391431A

公开(公告)日：

2015-03-04

发明(设计)人：

余学权徐先华刘志王志强张伟成学佩

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李相雨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-04	公开	公开
2016-06-29	授权	授权
2015-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101603714678 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014107668964 申请日:20141212

共 50 条

[1]

曝光方法及系统，曝光设备控制系统 [P].

邢滨 ;

张强 .

中国专利 :CN104656383B ,2015-05-27

[2]

自动曝光控制系统及自动曝光控制方法 [P].

黄翌敏 ;

何承林 .

中国专利 :CN112690811B ,2021-04-23

[3]

曝光控制系统及方法 [P].

冯宇 .

中国专利 :CN102118564B ,2011-07-06

[4]

曝光控制系统及其方法 [P].

林晋安 ;

李宗德 ;

林耿生 ;

王浩任 ;

陈信宇 .

中国专利 :CN106412447A ,2017-02-15

[5]

自动曝光控制系统 [P].

牛杰 ;

王振玮 ;

崔凯 ;

冯娟 .

中国专利 :CN104640337B ,2015-05-20

[6]

曝光剂量控制系统及曝光系统 [P].

侯宝路 ;

王彩红 .

中国专利 :CN115128907A ,2022-09-30

[7]

曝光机控制方法、曝光机控制系统及存储介质 [P].

胡炳煌 .

中国专利 :CN107422615B ,2017-12-01

[8]

摄像曝光控制系统及其方法 [P].

小柳正和 ;

富高忠房 .

中国专利 :CN1159006A ,1997-09-10

[9]

摄影自动曝光控制系统 [P].

徐帅 ;

许洪翔 .

中国专利 :CN202235410U ,2012-05-30

[10]

X射线曝光控制系统 [P].

张振 .

中国专利 :CN208926396U ,2019-06-04

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