一种双层石英清洗槽

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专利类型
实用新型
申请号
CN201820264559.9
申请日
2018-02-23
公开(公告)号
CN208023116U
公开(公告)日
2018-10-30
发明(设计)人
常永喜 汤芳
申请人
申请人地址
215200 江苏省苏州市吴江区震泽镇大船港村
IPC主分类号
C30B3310
IPC分类号
C30B2906
代理机构
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411
代理人
黄冠华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
双层石英槽 [P]. 
袁树明 ;
韦建晶 .
中国专利 :CN205982904U ,2017-02-22
[2]
双层石英槽 [P]. 
袁树明 ;
韦建晶 .
中国专利 :CN106094279A ,2016-11-09
[3]
一种双层加热石英槽 [P]. 
朱明明 .
中国专利 :CN213996989U ,2021-08-20
[4]
一种硅片清洗用双层石英槽 [P]. 
李杰 .
中国专利 :CN216988912U ,2022-07-19
[5]
一种硅片清洗用双层石英槽 [P]. 
沈法松 .
中国专利 :CN102254793A ,2011-11-23
[6]
一种高效清洗的石英清洗槽 [P]. 
汤芳 ;
常永喜 ;
张勇 ;
孙秋谨 .
中国专利 :CN220781563U ,2024-04-16
[7]
一种石英进排气管清洗槽 [P]. 
徐凯 ;
郝建勇 .
中国专利 :CN222817529U ,2025-05-02
[8]
一种扩散石英舟清洗槽 [P]. 
蔡晓晨 ;
王敬蕊 .
中国专利 :CN202860906U ,2013-04-10
[9]
一种石英槽专用清洗线 [P]. 
汤仁军 .
中国专利 :CN209772853U ,2019-12-13
[10]
一种石英硅片清洗槽机构 [P]. 
陶锡昆 .
中国专利 :CN214160712U ,2021-09-10