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一种双层石英清洗槽
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201820264559.9
申请日
:
2018-02-23
公开(公告)号
:
CN208023116U
公开(公告)日
:
2018-10-30
发明(设计)人
:
常永喜
汤芳
申请人
:
申请人地址
:
215200 江苏省苏州市吴江区震泽镇大船港村
IPC主分类号
:
C30B3310
IPC分类号
:
C30B2906
代理机构
:
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411
代理人
:
黄冠华
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-10-30
授权
授权
共 50 条
[1]
双层石英槽
[P].
袁树明
论文数:
0
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0
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0
袁树明
;
韦建晶
论文数:
0
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韦建晶
.
中国专利
:CN205982904U
,2017-02-22
[2]
双层石英槽
[P].
袁树明
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0
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0
袁树明
;
韦建晶
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韦建晶
.
中国专利
:CN106094279A
,2016-11-09
[3]
一种双层加热石英槽
[P].
朱明明
论文数:
0
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0
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0
朱明明
.
中国专利
:CN213996989U
,2021-08-20
[4]
一种硅片清洗用双层石英槽
[P].
李杰
论文数:
0
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0
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0
李杰
.
中国专利
:CN216988912U
,2022-07-19
[5]
一种硅片清洗用双层石英槽
[P].
沈法松
论文数:
0
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0
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0
沈法松
.
中国专利
:CN102254793A
,2011-11-23
[6]
一种高效清洗的石英清洗槽
[P].
汤芳
论文数:
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机构:
浙江浩鑫半导体材料有限公司
浙江浩鑫半导体材料有限公司
汤芳
;
常永喜
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机构:
浙江浩鑫半导体材料有限公司
浙江浩鑫半导体材料有限公司
常永喜
;
张勇
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机构:
浙江浩鑫半导体材料有限公司
浙江浩鑫半导体材料有限公司
张勇
;
孙秋谨
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机构:
浙江浩鑫半导体材料有限公司
浙江浩鑫半导体材料有限公司
孙秋谨
.
中国专利
:CN220781563U
,2024-04-16
[7]
一种石英进排气管清洗槽
[P].
徐凯
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0
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机构:
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
徐凯
;
郝建勇
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机构:
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
郝建勇
.
中国专利
:CN222817529U
,2025-05-02
[8]
一种扩散石英舟清洗槽
[P].
蔡晓晨
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0
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蔡晓晨
;
王敬蕊
论文数:
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王敬蕊
.
中国专利
:CN202860906U
,2013-04-10
[9]
一种石英槽专用清洗线
[P].
汤仁军
论文数:
0
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0
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0
汤仁军
.
中国专利
:CN209772853U
,2019-12-13
[10]
一种石英硅片清洗槽机构
[P].
陶锡昆
论文数:
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陶锡昆
.
中国专利
:CN214160712U
,2021-09-10
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