一种硅片清洗用双层石英槽

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110198571.7

申请日：

2011-07-15

公开(公告)号：

CN102254793A

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

沈法松

申请人：

申请人地址：

215233 江苏省苏州市吴江市八都镇明港大道58号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B304

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司 32103

代理人：

孙仿卫;汪青

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101165559533 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2011101985717 申请日:20110715
2011-11-23	公开	公开
2014-03-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101697108147 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2011101985717 申请公布日:20111123

共 50 条

[1]

硅片清洗用石英槽 [P].

高翔鹰 ;

张少阳 ;

裴文龙 ;

陈晨 .

中国专利 :CN210586280U ,2020-05-22

[2]

一种硅片清洗用石英药液槽 [P].

陈文 .

中国专利 :CN209094040U ,2019-07-12

[3]

一种双层石英清洗槽 [P].

常永喜 ;

汤芳 .

中国专利 :CN208023116U ,2018-10-30

[4]

双层石英槽 [P].

袁树明 ;

韦建晶 .

中国专利 :CN205982904U ,2017-02-22

[5]

双层石英槽 [P].

袁树明 ;

韦建晶 .

中国专利 :CN106094279A ,2016-11-09

[6]

一种硅片清洗槽和硅片清洗系统 [P].

任新刚 ;

鲁战锋 ;

党朋飞 ;

张珊 ;

冯少辉 ;

张超 ;

成路 .

中国专利 :CN221447106U ,2024-07-30

[7]

一种硅片清洗槽 [P].

刘源 ;

孙超 .

中国专利 :CN206981315U ,2018-02-09

[8]

一种石英槽 [P].

黄伟 .

中国专利 :CN214638665U ,2021-11-09

[9]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

[10]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN112387692A ,2021-02-23

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