一种硅片的清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921315444.9

申请日：

2019-08-14

公开(公告)号：

CN211071105U

公开(公告)日：

2020-07-24

发明(设计)人：

刘爱军曹丙强庄艳歆周浪

申请人：

申请人地址：

225600 江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B302 B08B308 B08B304 B08B1300 F26B2100 H01L2167

代理机构：

扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315

代理人：

张琳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20190814 授权公告日:20200724 终止日期:20210814
2020-07-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN112387692A ,2021-02-23

[2]

一种大尺寸硅片的清洗槽 [P].

朱少波 ;

张良 ;

刘瑞鸿 ;

姬俊杰 ;

余刚 ;

曹国庆 .

中国专利 :CN213996979U ,2021-08-20

[3]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[4]

一种硅片清洗槽 [P].

刘源 ;

孙超 .

中国专利 :CN206981315U ,2018-02-09

[5]

一种用于硅片的表面清洗装置 [P].

雷杰 ;

周炜 ;

王庆钱 ;

杨大谊 ;

周璁 .

中国专利 :CN214022332U ,2021-08-24

[6]

一种硅片花篮的自动清洗装置 [P].

胡亚洲 ;

王震 ;

宋文祥 ;

李海波 ;

段高武 ;

乐雄英 ;

王瑞峰 .

中国专利 :CN217094746U ,2022-08-02

[7]

一种新型的螺栓清洗槽 [P].

何燕平 ;

杨国荣 ;

刘佩云 .

中国专利 :CN222470020U ,2025-02-14

[8]

一种硅片清洗设备 [P].

周磊 ;

段琳琳 ;

丁媛 ;

侯斌 .

中国专利 :CN222890263U ,2025-05-23

[9]

一种基于硅片清洗的药剂槽 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

阮清山 ;

赵江风 ;

郑油根 .

中国专利 :CN221387849U ,2024-07-23

[10]

一种硅片清洗槽和硅片清洗系统 [P].

任新刚 ;

鲁战锋 ;

党朋飞 ;

张珊 ;

冯少辉 ;

张超 ;

成路 .

中国专利 :CN221447106U ,2024-07-30

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