一种硅片清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520725323.0

申请日：

2025-04-17

公开(公告)号：

CN222890263U

公开(公告)日：

2025-05-23

发明(设计)人：

周磊段琳琳丁媛侯斌

申请人：

艾庞半导体科技（四川）有限公司

申请人地址：

629000 四川省遂宁市高新区云锦路8号1栋2楼202室

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/10 B08B13/00

代理机构：

成都华烨专利代理事务所(普通合伙) 51336

代理人：

李勇翰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗设备 [P].

石坚 ;

朱棣 ;

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 .

中国专利 :CN209691736U ,2019-11-26

[2]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[3]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[4]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[5]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[6]

一种硅片脱胶清洗设备 [P].

陈忠海 .

中国专利 :CN207615278U ,2018-07-17

[7]

一种镍片清洗设备 [P].

肖新华 .

中国专利 :CN220658567U ,2024-03-26

[8]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

[9]

一种光伏硅片清洗设备 [P].

郝浩 .

中国专利 :CN215142846U ,2021-12-14

[10]

一种硅片清洗设备 [P].

李晶哲 ;

丁可庄 .

中国专利 :CN203304220U ,2013-11-27

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