一种硅片脱胶清洗设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201721602557.8
申请日
2017-11-27
公开(公告)号
CN207615278U
公开(公告)日
2018-07-17
发明(设计)人
陈忠海
申请人
申请人地址
215600 江苏省苏州市张家港市李巷村
IPC主分类号
B08B310
IPC分类号
B08B312
代理机构
苏州凯谦巨邦专利代理事务所(普通合伙) 32303
代理人
丁剑
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片脱胶清洗设备 [P]. 
凌晓国 ;
岳旭 ;
余传江 .
中国专利 :CN206356306U ,2017-07-28
[2]
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方勇华 ;
詹玉峰 ;
陈跃华 ;
方萌 .
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[3]
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陈忠海 .
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[4]
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徐伟 ;
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[5]
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[6]
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[7]
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