一种硅片脱胶清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621283105.3

申请日：

2016-11-28

公开(公告)号：

CN206356306U

公开(公告)日：

2017-07-28

发明(设计)人：

凌晓国岳旭余传江

申请人：

申请人地址：

314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

B08B302

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253

代理人：

李伊飏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/10 申请日:20161128 授权公告日:20170728 终止日期:20181128
2017-07-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片脱胶清洗设备 [P].

陈忠海 .

中国专利 :CN207615278U ,2018-07-17

[2]

一种硅片脱胶清洗设备 [P].

方勇华 ;

詹玉峰 ;

陈跃华 ;

方萌 .

中国专利 :CN214348484U ,2021-10-08

[3]

一种硅片脱胶清洗设备 [P].

陈忠海 .

中国专利 :CN208407842U ,2019-01-22

[4]

一种硅片清洗设备 [P].

石坚 ;

朱棣 ;

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 .

中国专利 :CN209691736U ,2019-11-26

[5]

一种硅片脱胶设备 [P].

翟大东 ;

昝武 ;

陈洁 ;

何志坚 ;

宫冰冰 .

中国专利 :CN204398163U ,2015-06-17

[6]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[7]

一种硅片清洗脱胶夹具 [P].

季丽 ;

王松华 ;

聂海洲 ;

余志兵 .

中国专利 :CN208142157U ,2018-11-23

[8]

一种碎硅片清洗设备 [P].

宣云超 ;

吴金友 ;

赵雨高 ;

王康 .

中国专利 :CN204118041U ,2015-01-21

[9]

一种硅片清洗脱胶篮 [P].

陈锁明 .

中国专利 :CN202238736U ,2012-05-30

[10]

一种自动硅片清洗设备 [P].

冯艳林 .

中国专利 :CN210006702U ,2020-01-31

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