一种硅片清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420703272.3

申请日：

2014-11-21

公开(公告)号：

CN204289404U

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

刘彬国何京辉李立伟张立涛张稳

申请人：

申请人地址：

054001 河北省邢台市开发区南三环广通路516号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B312

代理机构：

石家庄国为知识产权事务所 13120

代理人：

米文智

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	授权	授权
2019-11-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141121 授权公告日:20150422 终止日期:20181121

共 50 条

[1]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

[2]

一种简易硅片超声波清洗槽 [P].

季丽 .

中国专利 :CN205628775U ,2016-10-12

[3]

一种硅片清洗槽 [P].

刘源 ;

孙超 .

中国专利 :CN206981315U ,2018-02-09

[4]

一种硅片清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 ;

汤和平 .

中国专利 :CN222001188U ,2024-11-15

[5]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN112387692A ,2021-02-23

[6]

一种硅片清洗装置 [P].

周良海 .

中国专利 :CN212550802U ,2021-02-19

[7]

一种硅片清洗槽 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

辛超 ;

石海涛 ;

赵朋占 .

中国专利 :CN207238646U ,2018-04-17

[8]

一种硅片清洗槽 [P].

陈康 ;

王宜 ;

薛灵生 ;

陈凤 .

中国专利 :CN215391242U ,2022-01-04

[9]

一种硅片清洗槽 [P].

吴则春 ;

李绪林 .

中国专利 :CN223300534U ,2025-09-05

[10]

一种硅片盒清洗装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN210386880U ,2020-04-24

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