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一种硅片清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021084955.7
申请日：
2020-06-12
公开(公告)号：
CN212550802U
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
周良海
申请人：
申请人地址：
211126 江苏省南京市江宁区湖熟街道龙都社区虹南北路28号
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B1300
代理机构：
南京禾易知识产权代理有限公司 32320
代理人：
王彩君
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-19 | 授权 | 授权 |