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一种硅片的清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920583879.5
申请日：
2019-04-26
公开(公告)号：
CN209829704U
公开(公告)日：
2019-12-24
发明(设计)人：
曾磊
张玉玉
张乃文
申请人：
申请人地址：
257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北,西康路以西
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B312
B08B1300
代理机构：
北京中北知识产权代理有限公司 11253
代理人：
段秋玲
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-24 | 授权 | 授权 |