一种硅片清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720878845.X

申请日：

2017-07-19

公开(公告)号：

CN206981315U

公开(公告)日：

2018-02-09

发明(设计)人：

刘源孙超

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B310 H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

余昌昊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

[2]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[3]

一种用于清洗半导体硅片的清洗槽 [P].

黄国勇 ;

曹珍裕 ;

王兴鸿 .

中国专利 :CN202238744U ,2012-05-30

[4]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN112387692A ,2021-02-23

[5]

一种硅片清洗槽和硅片清洗系统 [P].

任新刚 ;

鲁战锋 ;

党朋飞 ;

张珊 ;

冯少辉 ;

张超 ;

成路 .

中国专利 :CN221447106U ,2024-07-30

[6]

一种硅片清洗槽 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

辛超 ;

石海涛 ;

赵朋占 .

中国专利 :CN207238646U ,2018-04-17

[7]

一种硅片清洗槽 [P].

陈康 ;

王宜 ;

薛灵生 ;

陈凤 .

中国专利 :CN215391242U ,2022-01-04

[8]

一种硅片清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 ;

汤和平 .

中国专利 :CN222001188U ,2024-11-15

[9]

一种硅片清洗槽 [P].

吴则春 ;

李绪林 .

中国专利 :CN223300534U ,2025-09-05

[10]

一种硅片清洗槽 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN202461046U ,2012-10-03

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