一种硅片清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120631873.8

申请日：

2021-03-29

公开(公告)号：

CN215391242U

公开(公告)日：

2022-01-04

发明(设计)人：

陈康王宜薛灵生陈凤

申请人：

申请人地址：

214064 江苏省无锡市滨湖区青龙山工业园127号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B302 B08B1300 F26B2100 H01L2167

代理机构：

南京常青藤知识产权代理有限公司 32286

代理人：

毛洪梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[2]

一种硅片清洗槽 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

辛超 ;

石海涛 ;

赵朋占 .

中国专利 :CN207238646U ,2018-04-17

[3]

一种硅片清洗槽 [P].

刘源 ;

孙超 .

中国专利 :CN206981315U ,2018-02-09

[4]

一种硅片清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 ;

汤和平 .

中国专利 :CN222001188U ,2024-11-15

[5]

一种硅片清洗槽 [P].

吴则春 ;

李绪林 .

中国专利 :CN223300534U ,2025-09-05

[6]

一种硅片清洗槽 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN202461046U ,2012-10-03

[7]

一种摇摆式硅片清洗槽 [P].

支秉旭 .

中国专利 :CN205949402U ,2017-02-15

[8]

一种石英硅片清洗槽机构 [P].

陶锡昆 .

中国专利 :CN214160712U ,2021-09-10

[9]

硅片清洗槽 [P].

俞超 ;

吕海强 ;

石少华 ;

刘飞 ;

杜同江 .

中国专利 :CN203265215U ,2013-11-06

[10]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995606U ,2020-07-14

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