硅片清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320306796.4

申请日：

2013-05-30

公开(公告)号：

CN203265215U

公开(公告)日：

2013-11-06

发明(设计)人：

俞超吕海强石少华刘飞杜同江

申请人：

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区庄市街道逸夫路177号

IPC主分类号：

B08B1300

IPC分类号：

B08B308

代理机构：

余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239

代理人：

胡小永

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 13/00 申请日:20130530 授权公告日:20131106 终止日期:20170530
2013-11-06	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片喷淋清洗槽 [P].

于皓洁 ;

杜飞龙 .

中国专利 :CN201440405U ,2010-04-21

[2]

硅片逆流清洗槽 [P].

罗军 ;

叶斌 .

中国专利 :CN217888811U ,2022-11-25

[3]

硅片清洗槽及槽式清洗机 [P].

张硕 ;

黄峰城 ;

赵保星 .

中国专利 :CN222999257U ,2025-06-20

[4]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[5]

一种硅片清洗槽 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

辛超 ;

石海涛 ;

赵朋占 .

中国专利 :CN207238646U ,2018-04-17

[6]

硅片承载花篮和清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 .

中国专利 :CN222530397U ,2025-02-25

[7]

硅片慢提拉清洗槽 [P].

虞凯 ;

孙铁囤 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206820012U ,2017-12-29

[8]

一种硅片清洗槽 [P].

陈康 ;

王宜 ;

薛灵生 ;

陈凤 .

中国专利 :CN215391242U ,2022-01-04

[9]

一种硅片清洗槽 [P].

刘源 ;

孙超 .

中国专利 :CN206981315U ,2018-02-09

[10]

一种硅片清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 ;

汤和平 .

中国专利 :CN222001188U ,2024-11-15

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