硅片清洗槽及槽式清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422047601.X

申请日：

2024-08-22

公开(公告)号：

CN222999257U

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

张硕黄峰城赵保星

申请人：

三一硅能（株洲）有限公司

申请人地址：

412005 湖南省株洲市铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号栋518-50室

IPC主分类号：

B08B3/04

IPC分类号：

B08B3/10 B08B11/02

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

马吉兰

法律状态：

授权

国省代码：

湖南省株洲市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗机用清洗槽 [P].

饶海峰 ;

沈传进 ;

许天红 ;

张峰 ;

孙小龙 ;

陈兆民 .

中国专利 :CN212633657U ,2021-03-02

[2]

硅片清洗机的漂洗槽 [P].

刘伟 ;

王欣 ;

杨乐 .

中国专利 :CN202316398U ,2012-07-11

[3]

硅片槽式清洗机用烘干设备 [P].

李辉明 ;

周常超 ;

刘善亮 ;

刘天瑞 .

中国专利 :CN221924255U ,2024-10-29

[4]

一种硅片清洗机用清洗槽 [P].

陆敏 .

中国专利 :CN208840094U ,2019-05-10

[5]

硅片清洗槽 [P].

俞超 ;

吕海强 ;

石少华 ;

刘飞 ;

杜同江 .

中国专利 :CN203265215U ,2013-11-06

[6]

一种清洗槽及具有该清洗槽的清洗机 [P].

张牧翔 ;

徐小占 ;

杨飞龙 ;

王坤 ;

徐化祥 ;

刘松松 .

中国专利 :CN223070039U ,2025-07-08

[7]

硅片清洗机的漂洗槽 [P].

刘伟 ;

王欣 ;

杨乐 .

中国专利 :CN102343340B ,2012-02-08

[8]

一种清洗机及槽式清洗系统 [P].

董犁豪 ;

董帅 ;

罗茂盛 ;

贾帅笔 ;

李哲 ;

刘旭东 .

中国专利 :CN221934951U ,2024-11-01

[9]

一种槽式清洗机的自动槽盖和槽式清洗机 [P].

许忠晖 ;

郑鹏 ;

程膘 ;

马赛虎 ;

张国庆 .

中国专利 :CN220658524U ,2024-03-26

[10]

一种多槽循环硅片清洗机 [P].

颜颉颃 ;

贾永前 ;

张欣 .

中国专利 :CN202823983U ,2013-03-27

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