一种多槽循环硅片清洗机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220390026.8
申请日
2012-08-08
公开(公告)号
CN202823983U
公开(公告)日
2013-03-27
发明(设计)人
颜颉颃 贾永前 张欣
申请人
申请人地址
222300 江苏省连云港市东海县经济开发区西区(铁路南侧、湖东路东侧)
IPC主分类号
B08B312
IPC分类号
代理机构
广州知友专利商标代理有限公司 44104
代理人
李海波;侯莉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多槽循环硅片清洗机 [P]. 
颜颉颃 ;
贾永前 ;
张欣 .
中国专利 :CN102836842B ,2012-12-26
[2]
一种硅片清洗机用清洗槽 [P]. 
饶海峰 ;
沈传进 ;
许天红 ;
张峰 ;
孙小龙 ;
陈兆民 .
中国专利 :CN212633657U ,2021-03-02
[3]
硅片清洗槽及槽式清洗机 [P]. 
张硕 ;
黄峰城 ;
赵保星 .
中国专利 :CN222999257U ,2025-06-20
[4]
一种硅片清洗机用清洗槽 [P]. 
陆敏 .
中国专利 :CN208840094U ,2019-05-10
[5]
一种槽式硅片清洗机及其抛动架 [P]. 
梁宏健 ;
朱峰 ;
田欢 .
中国专利 :CN202962962U ,2013-06-05
[6]
硅片清洗机 [P]. 
陈春晖 .
中国专利 :CN202174082U ,2012-03-28
[7]
一种硅片清洗机 [P]. 
刘锋 ;
刘爱军 ;
蒋月华 ;
陈新军 ;
邓加云 .
中国专利 :CN205289176U ,2016-06-08
[8]
一种硅片清洗机 [P]. 
江富琴 .
中国专利 :CN209266364U ,2019-08-16
[9]
一种硅片清洗机 [P]. 
林欣城 ;
徐永洋 ;
张永芳 .
中国专利 :CN222778568U ,2025-04-22
[10]
一种硅片清洗机 [P]. 
杨福平 .
中国专利 :CN202290646U ,2012-07-04