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一种硅片清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822076629.0
申请日：
2018-12-12
公开(公告)号：
CN209266364U
公开(公告)日：
2019-08-16
发明(设计)人：
江富琴
申请人：
申请人地址：
314112 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道之江路99号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：
汤东凤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-16 | 授权 | 授权 |