一种硅片清洗机用硅片清洗结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421234910.1

申请日：

2024-06-03

公开(公告)号：

CN222659501U

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

吴开泰王志红

申请人：

江苏英思特半导体科技有限公司

申请人地址：

226500 江苏省南通市如皋市城南街道新源北路8号11号厂房（1-2层）

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/10 B08B13/00 B08B3/14

代理机构：

北京中知音诺知识产权代理事务所(普通合伙) 13138

代理人：

管林林

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗机用硅片清洗结构 [P].

程玉学 ;

杨雪梅 .

中国专利 :CN217165704U ,2022-08-12

[2]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657360U ,2024-09-06

[3]

一种硅片清洗机 [P].

林欣城 ;

徐永洋 ;

张永芳 .

中国专利 :CN222778568U ,2025-04-22

[4]

硅片清洗机 [P].

陈春晖 .

中国专利 :CN202174082U ,2012-03-28

[5]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[6]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

孙芳良 .

中国专利 :CN210847462U ,2020-06-26

[7]

一种硅片清洗机 [P].

江富琴 .

中国专利 :CN209266364U ,2019-08-16

[8]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

张志康 ;

吕强 ;

徐坤 .

中国专利 :CN207719159U ,2018-08-10

[9]

一种硅片清洗机 [P].

陆敏 .

中国专利 :CN208758278U ,2019-04-19

[10]

一种硅片清洗机用清洗槽 [P].

饶海峰 ;

沈传进 ;

许天红 ;

张峰 ;

孙小龙 ;

陈兆民 .

中国专利 :CN212633657U ,2021-03-02

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