共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片清洗机用硅片清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921925772.0
申请日：
2019-11-11
公开(公告)号：
CN210847462U
公开(公告)日：
2020-06-26
发明(设计)人：
孙芳良
申请人：
申请人地址：
215151 江苏省苏州市虎丘区石阳路2号
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B1300
F26B2100
B01D4610
H01L2167
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-26 | 授权 | 授权 |