一种硅片清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120420325.7

申请日：

2011-10-28

公开(公告)号：

CN202290646U

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

杨福平

申请人：

申请人地址：

212200 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

B08B308

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司 11225

代理人：

黄威;郭迎侠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	授权	授权
2021-11-16	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B08B 3/04 申请日:20111028 授权公告日:20120704

共 50 条

[1]

硅片清洗机 [P].

陈春晖 .

中国专利 :CN202174082U ,2012-03-28

[2]

一种硅片清洗机 [P].

刘锋 ;

刘爱军 ;

蒋月华 ;

陈新军 ;

邓加云 .

中国专利 :CN205289176U ,2016-06-08

[3]

一种硅片清洗机 [P].

江富琴 .

中国专利 :CN209266364U ,2019-08-16

[4]

一种硅片清洗机 [P].

林欣城 ;

徐永洋 ;

张永芳 .

中国专利 :CN222778568U ,2025-04-22

[5]

一种硅片清洗机 [P].

陆敏 .

中国专利 :CN208758278U ,2019-04-19

[6]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657360U ,2024-09-06

[7]

一种硅片清洗机用硅片清洗结构 [P].

吴开泰 ;

王志红 .

中国专利 :CN222659501U ,2025-03-25

[8]

一种硅片清洗机用硅片清洗结构 [P].

程玉学 ;

杨雪梅 .

中国专利 :CN217165704U ,2022-08-12

[9]

一种高效硅片清洗机 [P].

陆敏 .

中国专利 :CN208840168U ,2019-05-10

[10]

一种高效硅片清洗机 [P].

孙芳良 .

中国专利 :CN210325727U ,2020-04-14

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