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一种硅片单面清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820036683.X
申请日：
2018-01-10
公开(公告)号：
CN208225846U
公开(公告)日：
2018-12-11
发明(设计)人：
李世磊
阳军
吴会旭
李钊
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区太平街道聚金工业坊顺乐路
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268
代理人：
李先锋
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180110 授权公告日:20181211 终止日期:20220110 |
| 2018-12-11 | 授权 | 授权 |