共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921585073.6
申请日：
2019-09-23
公开(公告)号：
CN210120121U
公开(公告)日：
2020-02-28
发明(设计)人：
王克克
张浩浩
申请人：
申请人地址：
471023 河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路2号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-28 | 授权 | 授权 |