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一种硅片单面清洗机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810021334.5
申请日：
2018-01-10
公开(公告)号：
CN108269753A
公开(公告)日：
2018-07-10
发明(设计)人：
李世磊
阳军
吴会旭
李钊
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区太平街道聚金工业坊顺乐路
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268
代理人：
李先锋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-10 | 公开 | 公开 |
| 2018-08-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180110 |