一种硅片自动清洗机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710680131.2

申请日：

2017-08-10

公开(公告)号：

CN107442511A

公开(公告)日：

2017-12-08

发明(设计)人：

陈忠海

申请人：

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B1300 F26B906

代理机构：

北京汇信合知识产权代理有限公司 11335

代理人：

袁辉志

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-08	公开	公开
2018-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20170810
2020-12-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B08B 3/12 申请公布日:20171208

共 50 条

[1]

一种自动化硅片清洗机 [P].

张建华 .

中国专利 :CN209418471U ,2019-09-20

[2]

一种全自动硅片清洗机 [P].

蔡永礼 ;

王文和 ;

叶曲波 .

中国专利 :CN116190265B ,2025-06-27

[3]

自动硅片清洗机 [P].

马胜南 ;

轩云喜 .

中国专利 :CN206179833U ,2017-05-17

[4]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657360U ,2024-09-06

[5]

一种多晶硅片自动清洗机 [P].

蒋军 .

中国专利 :CN205959962U ,2017-02-15

[6]

全自动硅片清洗机 [P].

轩云喜 .

中国专利 :CN107999458B ,2018-05-08

[7]

一种试管自动清洗机 [P].

高翠菊 ;

孙建波 .

中国专利 :CN108838182A ,2018-11-20

[8]

一种硅片喷淋清洗机 [P].

信广志 .

中国专利 :CN210187866U ,2020-03-27

[9]

一种硅片双面清洗机 [P].

姜涛 ;

阳军 ;

吴会旭 ;

李钊 .

中国专利 :CN108091597A ,2018-05-29

[10]

一种高效硅片清洗机 [P].

陆敏 .

中国专利 :CN208840168U ,2019-05-10

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