一种多晶硅片自动清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620949482.X

申请日：

2016-08-26

公开(公告)号：

CN205959962U

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

蒋军

申请人：

申请人地址：

314415 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区安江路74号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251

代理人：

章松伟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160826 授权公告日:20170215 终止日期:20180826
2017-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型多晶硅片清洗机 [P].

郭长明 ;

王潇 ;

赵海洋 ;

张立 ;

许春杰 ;

谢保卫 .

中国专利 :CN205248239U ,2016-05-18

[2]

一种新型多晶硅片清洗机 [P].

陈伟 ;

孔群 ;

杨玉生 ;

姜春潮 .

中国专利 :CN206349341U ,2017-07-21

[3]

一种新型多晶硅片清洗机 [P].

钱其峰 ;

徐国华 ;

钱鹏飞 ;

陆亚杰 .

中国专利 :CN205797876U ,2016-12-14

[4]

一种多晶硅片清洗机自动提篮装置 [P].

申炳荣 .

中国专利 :CN204088282U ,2015-01-07

[5]

一种多晶硅片制绒清洗机 [P].

王骏明 ;

吴昊 ;

黄恩 .

中国专利 :CN207852624U ,2018-09-11

[6]

一种多晶硅片清洗机热水供应方式 [P].

刘猛 ;

张鸣剑 ;

张红光 ;

林哲 ;

李书声 ;

赵兵 .

中国专利 :CN202860899U ,2013-04-10

[7]

多晶硅清洗机 [P].

陈辉 ;

曲宏波 ;

刘应全 ;

张潼 ;

蔡爱梅 ;

张征 ;

张邦洁 .

中国专利 :CN211914788U ,2020-11-13

[8]

一种多晶硅清洗机 [P].

何建志 .

中国专利 :CN207668100U ,2018-07-31

[9]

一种多晶硅片清洗设备 [P].

袁国清 ;

孙文珠 ;

李昊 ;

周娜娜 .

中国专利 :CN222469984U ,2025-02-14

[10]

一种多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 [P].

王泉龙 ;

李琪 ;

孙珠珠 ;

周国栋 .

中国专利 :CN114713535A ,2022-07-08

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