一种多晶硅片清洗机自动提篮装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420548375.7
申请日
2014-09-23
公开(公告)号
CN204088282U
公开(公告)日
2015-01-07
发明(设计)人
申炳荣
申请人
申请人地址
314415 浙江省嘉兴市海宁市黄湾镇枕江路21号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
B08B312 B08B1300
代理机构
宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙) 33243
代理人
张向飞
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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