一种多晶硅片高效清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920081401.2

申请日：

2019-01-17

公开(公告)号：

CN209829682U

公开(公告)日：

2019-12-24

发明(设计)人：

李广森

申请人：

申请人地址：

239300 安徽省滁州市天长市杨村镇工业园区

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167 H01L21677 F26B2306 F26B2500 B01D2903 B01D3502

代理机构：

合肥汇融专利代理有限公司 34141

代理人：

张雁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-24	授权	授权
2022-01-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20190117 授权公告日:20191224 终止日期:20210117

共 50 条

[1]

一种多晶硅片的清洗装置 [P].

杨世豪 ;

顾夏斌 ;

赖玮晟 .

中国专利 :CN212190271U ,2020-12-22

[2]

一种多晶硅片控温清洗装置 [P].

俞豪威 ;

梁庭卫 .

中国专利 :CN206296255U ,2017-07-04

[3]

一种多晶硅片清洗设备 [P].

袁国清 ;

孙文珠 ;

李昊 ;

周娜娜 .

中国专利 :CN222469984U ,2025-02-14

[4]

一种多晶硅片智能化清洗装置 [P].

何飞 ;

张靖 .

中国专利 :CN209124504U ,2019-07-19

[5]

耐腐蚀高效多晶硅片 [P].

竺峰 ;

赵国成 .

中国专利 :CN208723846U ,2019-04-09

[6]

一种多晶硅片清洗专用架 [P].

刘向荣 ;

周锋 ;

贺立超 ;

彭云祥 ;

肖燃 .

中国专利 :CN211992541U ,2020-11-24

[7]

一种多晶硅片清洗专用架 [P].

汪伟华 .

中国专利 :CN208743201U ,2019-04-16

[8]

一种V形高效多晶硅片 [P].

徐爱阳 .

中国专利 :CN211606446U ,2020-09-29

[9]

一种多晶硅片的清洗设备 [P].

黄贤强 .

中国专利 :CN211989971U ,2020-11-24

[10]

一种多晶硅片 [P].

郑晓晨 .

中国专利 :CN207072980U ,2018-03-06

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