一种多晶硅片清洗专用架

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820780124.X
申请日
2018-05-24
公开(公告)号
CN208743201U
公开(公告)日
2019-04-16
发明(设计)人
汪伟华
申请人
申请人地址
313299 浙江省湖州市德清县武康镇长虹中街339号
IPC主分类号
B08B306
IPC分类号
B08B308 H01L2167 H01L2102
代理机构
杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230
代理人
陈俊波
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅片清洗专用架 [P]. 
汪伟华 .
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[2]
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