一种多晶硅片清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421238727.9

申请日：

2024-06-03

公开(公告)号：

CN222469984U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

袁国清孙文珠李昊周娜娜

申请人：

山东九顶山光电科技有限公司

申请人地址：

277000 山东省枣庄市高新区光明大道润东产业园G900号3楼317

IPC主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/14

代理机构：

枣庄市智旺专利代理事务所(普通合伙) 37481

代理人：

赵娟

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多晶硅片的清洗设备 [P].

黄贤强 .

中国专利 :CN211989971U ,2020-11-24

[2]

一种多晶硅铸锭硅片清洗设备 [P].

肖真方 .

中国专利 :CN210743924U ,2020-06-12

[3]

一种多晶硅片的烘干设备 [P].

钱其峰 ;

肖凌超 ;

裘永恒 ;

褚玲芳 .

中国专利 :CN211199478U ,2020-08-07

[4]

一种多晶硅片用具有硅片间分离结构的清洗设备 [P].

龚兴胜 .

中国专利 :CN210692489U ,2020-06-05

[5]

单晶硅片及多晶硅片链式清洗设备 [P].

周业青 ;

左国军 .

中国专利 :CN302772895S ,2014-03-26

[6]

一种多晶硅片清洗专用架 [P].

刘向荣 ;

周锋 ;

贺立超 ;

彭云祥 ;

肖燃 .

中国专利 :CN211992541U ,2020-11-24

[7]

一种多晶硅片高效清洗装置 [P].

李广森 .

中国专利 :CN209829682U ,2019-12-24

[8]

一种多晶硅片的清洗装置 [P].

杨世豪 ;

顾夏斌 ;

赖玮晟 .

中国专利 :CN212190271U ,2020-12-22

[9]

一种多晶硅片清洗专用架 [P].

汪伟华 .

中国专利 :CN208743201U ,2019-04-16

[10]

一种多晶硅片 [P].

郑晓晨 .

中国专利 :CN207072980U ,2018-03-06

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