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一种多晶硅片用具有硅片间分离结构的清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921577931.2
申请日：
2019-09-20
公开(公告)号：
CN210692489U
公开(公告)日：
2020-06-05
发明(设计)人：
龚兴胜
申请人：
申请人地址：
413000 湖南省益阳市赫山区衡龙新区
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B08B302
B08B1300
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-05 | 授权 | 授权 |