共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种多晶硅铸锭硅片清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922275200.9
申请日：
2019-12-18
公开(公告)号：
CN210743924U
公开(公告)日：
2020-06-12
发明(设计)人：
肖真方
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市中国(湖北)自贸区武汉片区光谷大道62号关南福星医药园第5幢3层1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
湖北天领艾匹律师事务所 42252
代理人：
程明
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-12 | 授权 | 授权 |