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一种多晶硅片的烘干设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922358176.5
申请日：
2019-12-24
公开(公告)号：
CN211199478U
公开(公告)日：
2020-08-07
发明(设计)人：
钱其峰 肖凌超 裘永恒 褚玲芳
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市皮都路9号
IPC主分类号：
C30B3500
IPC分类号：
C30B2906 B41F2304 B41F2300
代理机构：
杭州永航联科专利代理有限公司 33304
代理人：
俞培锋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-08-07 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于多晶硅片的烘干设备 [P]. 
黄贤强 .
中国专利 :CN211876676U ,2020-11-06
[2]
一种多晶硅片的切割设备 [P]. 
黄贤强 .
中国专利 :CN212045422U ,2020-12-01
[3]
一种多晶硅片的清洗设备 [P]. 
黄贤强 .
中国专利 :CN211989971U ,2020-11-24
[4]
一种多晶硅片的快速烧结设备 [P]. 
钱其峰 ;
张秋涛 ;
褚玲芳 .
中国专利 :CN211199477U ,2020-08-07
[5]
一种用于多晶硅片的脱胶机 [P]. 
黄贤强 .
中国专利 :CN211989983U ,2020-11-24
[6]
一种多晶硅片清洗设备 [P]. 
袁国清 ;
孙文珠 ;
李昊 ;
周娜娜 .
中国专利 :CN222469984U ,2025-02-14
[7]
一种多晶硅片的检测机 [P]. 
钱其峰 ;
张秋涛 ;
褚玲芳 ;
熊磊 .
中国专利 :CN111112110A ,2020-05-08
[8]
一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置 [P]. 
常康杰 ;
张奇 ;
王雪 .
中国专利 :CN216347393U ,2022-04-19
[9]
一种多晶硅片 [P]. 
郑晓晨 .
中国专利 :CN207072980U ,2018-03-06
[10]
一种太阳能多晶硅片的生产装置 [P]. 
钱其峰 ;
肖凌超 ;
裘永恒 ;
陆亚杰 .
中国专利 :CN111129222B ,2020-05-08
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