一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置

被引：0

申请号：

CN202122708486.2

申请日：

2021-11-08

公开(公告)号：

CN216347393U

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

常康杰张奇王雪

申请人：

申请人地址：

221611 江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧

IPC主分类号：

F26B516

IPC分类号：

F26B1518 F26B2100 F26B2500 F26B2502

代理机构：

无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569

代理人：

陈勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多晶硅片的烘干设备 [P].

钱其峰 ;

肖凌超 ;

裘永恒 ;

褚玲芳 .

中国专利 :CN211199478U ,2020-08-07

[2]

一种用于多晶硅片的烘干设备 [P].

黄贤强 .

中国专利 :CN211876676U ,2020-11-06

[3]

多晶硅片清洗制绒机烘干装置 [P].

陈前兆 ;

徐昌华 ;

史才成 ;

孟宪亮 ;

郝子龙 ;

郑银先 ;

华贵俊 ;

高超 .

中国专利 :CN203534124U ,2014-04-09

[4]

一种单晶或多晶硅片的酸洗工艺 [P].

周建明 ;

严郁刚 ;

郑王海 .

中国专利 :CN101838851A ,2010-09-22

[5]

一种多晶硅片 [P].

郑晓晨 .

中国专利 :CN207072980U ,2018-03-06

[6]

多晶硅酸洗废气排放处理装置 [P].

王刚 ;

马景超 ;

徐丛辉 ;

李国迪 ;

蒋明霞 .

中国专利 :CN201832554U ,2011-05-18

[7]

一种多晶硅片的加工装置 [P].

鲍官培 ;

黄丹丹 ;

张春雨 ;

乔印虎 .

中国专利 :CN207789380U ,2018-08-31

[8]

一种多晶硅片制绒花蓝装置 [P].

袁作臻 .

中国专利 :CN202839562U ,2013-03-27

[9]

一种多晶硅片表面处理循环冷却装置 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN204558421U ,2015-08-12

[10]

一种复合多晶硅片 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN206259366U ,2017-06-16

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