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一种自动化硅片清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920168769.2
申请日：
2019-01-30
公开(公告)号：
CN209418471U
公开(公告)日：
2019-09-20
发明(设计)人：
张建华
申请人：
申请人地址：
214200 江苏省无锡市宜兴经济开发区东氿大道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228
代理人：
冯智文
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-20 | 授权 | 授权 |