硅片清洗机的漂洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120404295.0

申请日：

2011-10-20

公开(公告)号：

CN202316398U

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

刘伟王欣杨乐

申请人：

申请人地址：

214174 江苏省无锡市惠山区堰桥镇堰丰路168号

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

陈慧珍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	授权	授权
2016-01-13	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101726603590 IPC(主分类):B08B 3/04 专利号:ZL2011204042950 申请日:20111020 授权公告日:20120711 放弃生效日:20160113

共 50 条

[1]

硅片清洗机的漂洗槽 [P].

刘伟 ;

王欣 ;

杨乐 .

中国专利 :CN102343340B ,2012-02-08

[2]

硅片清洗槽及槽式清洗机 [P].

张硕 ;

黄峰城 ;

赵保星 .

中国专利 :CN222999257U ,2025-06-20

[3]

硅片清洗机 [P].

陈春晖 .

中国专利 :CN202174082U ,2012-03-28

[4]

硅片清洗机 [P].

沈卫琴 .

中国专利 :CN223197640U ,2025-08-08

[5]

一种硅片清洗机用清洗槽 [P].

饶海峰 ;

沈传进 ;

许天红 ;

张峰 ;

孙小龙 ;

陈兆民 .

中国专利 :CN212633657U ,2021-03-02

[6]

用于硅片清洗机的温度监控设备及硅片清洗机 [P].

张强 .

中国专利 :CN211044036U ,2020-07-17

[7]

硅片槽式清洗机用烘干设备 [P].

李辉明 ;

周常超 ;

刘善亮 ;

刘天瑞 .

中国专利 :CN221924255U ,2024-10-29

[8]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[9]

超声硅片清洗机 [P].

钟平 .

中国专利 :CN202427679U ,2012-09-12

[10]

自动硅片清洗机 [P].

马胜南 ;

轩云喜 .

中国专利 :CN206179833U ,2017-05-17

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