硅片喷淋清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920109664.6

申请日：

2009-06-30

公开(公告)号：

CN201440405U

公开(公告)日：

2010-04-21

发明(设计)人：

于皓洁杜飞龙

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B302

代理机构：

代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-04-21	授权	授权
2018-01-12	文件的公告送达	文件的公告送达 IPC(主分类):H01L 21/00 收件人:北京七星华创电子股份有限公司文件名称:缴费通知书
2019-01-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20090630 授权公告日:20100421 终止日期:20170630
2018-08-17	文件的公告送达	文件的公告送达 IPC(主分类):H01L 21/00 收件人:北京七星华创电子股份有限公司文件名称:专利权终止通知书

共 50 条

[1]

喷淋清洗槽 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

黄利松 .

中国专利 :CN202606430U ,2012-12-19

[2]

硅片清洗槽 [P].

俞超 ;

吕海强 ;

石少华 ;

刘飞 ;

杜同江 .

中国专利 :CN203265215U ,2013-11-06

[3]

喷淋清洗槽 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

黄利松 .

中国专利 :CN102513302B ,2012-06-27

[4]

硅片逆流清洗槽 [P].

罗军 ;

叶斌 .

中国专利 :CN217888811U ,2022-11-25

[5]

硅片喷淋清洗系统 [P].

陆杰 ;

陈豪 ;

何广春 .

中国专利 :CN201579228U ,2010-09-15

[6]

硅片清洗槽及槽式清洗机 [P].

张硕 ;

黄峰城 ;

赵保星 .

中国专利 :CN222999257U ,2025-06-20

[7]

一种电镀清洗槽喷淋清洗装置 [P].

贺钦育 ;

梅智明 ;

李小文 .

中国专利 :CN216064583U ,2022-03-18

[8]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[9]

一种硅片清洗槽 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

辛超 ;

石海涛 ;

赵朋占 .

中国专利 :CN207238646U ,2018-04-17

[10]

硅片承载花篮和清洗槽 [P].

左国军 ;

万红朝 ;

余兴梅 .

中国专利 :CN222530397U ,2025-02-25

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