一种超声波单晶硅片清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921873971.1

申请日：

2019-11-01

公开(公告)号：

CN210995606U

公开(公告)日：

2020-07-14

发明(设计)人：

朱汪龙朱玲

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区景贤路52号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

H01L2167 H01L2102

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

石艳红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450075U ,2019-02-01

[2]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN217342606U ,2022-09-02

[3]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838655U ,2018-01-05

[4]

超声波清洗单晶硅片装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 .

中国专利 :CN201098688Y ,2008-08-13

[5]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

[6]

超声波清洗单晶硅片方法及其装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 ;

汪新平 .

中国专利 :CN100481324C ,2008-05-14

[7]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN102842486A ,2012-12-26

[8]

一种单晶硅片超声波清洗机 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208538804U ,2019-02-22

[9]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

汪国平 .

中国专利 :CN214516427U ,2021-10-29

[10]

一种太阳能单晶硅片超声波清洗设备 [P].

赵向阳 .

中国专利 :CN223312618U ,2025-09-09

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