超声波清洗单晶硅片方法及其装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710157175.3

申请日：

2007-11-27

公开(公告)号：

CN100481324C

公开(公告)日：

2008-05-14

发明(设计)人：

汪贵发楼春兰郑辉汪新平

申请人：

申请人地址：

324300浙江省开化县芹南路27号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B312

代理机构：

杭州裕阳专利事务所（普通合伙）

代理人：

应圣义

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-05-14	公开	公开
2017-01-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101697362710 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2007101571753 申请日:20071127 授权公告日:20090422 终止日期:20151127
2008-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

超声波清洗单晶硅片装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 .

中国专利 :CN201098688Y ,2008-08-13

[2]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

[3]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN102842486A ,2012-12-26

[4]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838655U ,2018-01-05

[5]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN217342606U ,2022-09-02

[6]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450075U ,2019-02-01

[7]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995606U ,2020-07-14

[8]

一种单晶硅片超声波清洗机 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208538804U ,2019-02-22

[9]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

汪国平 .

中国专利 :CN214516427U ,2021-10-29

[10]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

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