一种单晶硅片的超声波清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720631297.0

申请日：

2017-06-02

公开(公告)号：

CN206838655U

公开(公告)日：

2018-01-05

发明(设计)人：

李秀春

申请人：

申请人地址：

353300 福建省三明市将乐县积善工业园区

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B100

代理机构：

北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340

代理人：

曾捷

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20170602 授权公告日:20180105 终止日期:20180602
2018-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

[2]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN102842486A ,2012-12-26

[3]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

汪国平 .

中国专利 :CN214516427U ,2021-10-29

[4]

超声波清洗单晶硅片装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 .

中国专利 :CN201098688Y ,2008-08-13

[5]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995606U ,2020-07-14

[6]

超声波清洗单晶硅片方法及其装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 ;

汪新平 .

中国专利 :CN100481324C ,2008-05-14

[7]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450075U ,2019-02-01

[8]

一种单晶硅片超声波清洗机 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208538804U ,2019-02-22

[9]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN217342606U ,2022-09-02

[10]

一种切割中单晶硅的应急超声波清洗装置 [P].

陈吉祥 ;

李竞宇 ;

张建国 .

中国专利 :CN203648911U ,2014-06-18

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