一种单晶硅片超声波清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820938873.0

申请日：

2018-06-19

公开(公告)号：

CN208538804U

公开(公告)日：

2019-02-22

发明(设计)人：

王全文李鹭杨蛟

申请人：

申请人地址：

611230 四川省成都市崇州经济开发区泗维路265号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230

代理人：

谢建;吴静宜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450075U ,2019-02-01

[2]

超声波清洗槽的清洗篮、超声波清洗槽及其超声波清洗机 [P].

吴泉波 ;

蒲川 ;

兰飞 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN209918454U ,2020-01-10

[3]

超声波清洗单晶硅片装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 .

中国专利 :CN201098688Y ,2008-08-13

[4]

一种超声波清洗机 [P].

郭林峰 .

中国专利 :CN206104451U ,2017-04-19

[5]

一种超声波清洗机 [P].

徐志强 ;

林呼明 .

中国专利 :CN213033132U ,2021-04-23

[6]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

[7]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838655U ,2018-01-05

[8]

超声波清洗机 [P].

吴健 ;

冯小行 .

中国专利 :CN205386553U ,2016-07-20

[9]

超声波清洗机 [P].

龙梦飞 ;

彭宇坤 ;

孙赢 ;

罗日伟 .

中国专利 :CN220697663U ,2024-04-02

[10]

超声波清洗机 [P].

吴泉波 ;

蒲川 ;

兰飞 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN209491123U ,2019-10-15

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