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硅片清洗用石英槽
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921444123.9
申请日：
2019-09-02
公开(公告)号：
CN210586280U
公开(公告)日：
2020-05-22
发明(设计)人：
高翔鹰
张少阳
裴文龙
陈晨
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
IPC主分类号：
B08B1300
IPC分类号：
B08B308
B08B310
H01L21673
代理机构：
南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297
代理人：
陆明耀
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-22 | 授权 | 授权 |