一种用于硅片的石英清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022668814.6

申请日：

2020-11-18

公开(公告)号：

CN213905299U

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

汤芳常永喜

申请人：

申请人地址：

313106 浙江省湖州市长兴县洪桥镇工业园区

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石英硅片清洗槽机构 [P].

陶锡昆 .

中国专利 :CN214160712U ,2021-09-10

[2]

一种高效的硅片清洗用石英槽 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN222015366U ,2024-11-15

[3]

硅片清洗用石英槽 [P].

高翔鹰 ;

张少阳 ;

裴文龙 ;

陈晨 .

中国专利 :CN210586280U ,2020-05-22

[4]

一种用于清洗半导体硅片的清洗槽 [P].

黄国勇 ;

曹珍裕 ;

王兴鸿 .

中国专利 :CN202238744U ,2012-05-30

[5]

一种硅片清洗用石英药液槽 [P].

陈文 .

中国专利 :CN209094040U ,2019-07-12

[6]

一种硅片清洗用双层石英槽 [P].

李杰 .

中国专利 :CN216988912U ,2022-07-19

[7]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

[8]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[9]

一种硅片清洗槽 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

辛超 ;

石海涛 ;

赵朋占 .

中国专利 :CN207238646U ,2018-04-17

[10]

一种硅片清洗槽 [P].

陈康 ;

王宜 ;

薛灵生 ;

陈凤 .

中国专利 :CN215391242U ,2022-01-04

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